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飞择科技新增气体管路工程测试业务模块
2018-12-05

飞择科技新增气体管路工程测试业务模块

 

气体管路主要是通各种特种气体,需做测试项目有:保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。


1.保压测试

1.1测试目的

确保管路输送系统没有明显的泄漏,以便对管路系统进行氦测漏。

1.2测试工具   保压仪


2.氦质谱检漏测试

2.1测试目的

  利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏,并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。                               

2.2测试仪器   氦质谱检漏仪


3.水分、氧分、颗粒检测(三台仪器并联使用)

3.1测试目的和测试标准

水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时,会发生化学反应,对制程造成影响。

氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时,会发生化学反应,对制程造成影响。例如,芯片在生产过程中,原本大气中O2会和Si产生化学反应:O2+Si=SiO2,为原始的氧化成,如果管道内的氧含量过高,原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度,如此会严重影响接下来各阶段的制程。

颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。

检测标准:

水分检测

≤10ppb

氧分检测

≤10ppb

颗粒检测

0.1um≤5pcs,0.1um以上为0pcs

 

3.2测试仪器

     水分仪

     氧分仪

     颗粒仪

 


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飞择科技新增气体管路工程测试业务模块
2018-12-05

飞择科技新增气体管路工程测试业务模块

 

气体管路主要是通各种特种气体,需做测试项目有:保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。


1.保压测试

1.1测试目的

确保管路输送系统没有明显的泄漏,以便对管路系统进行氦测漏。

1.2测试工具   保压仪


2.氦质谱检漏测试

2.1测试目的

  利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏,并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。                               

2.2测试仪器   氦质谱检漏仪


3.水分、氧分、颗粒检测(三台仪器并联使用)

3.1测试目的和测试标准

水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时,会发生化学反应,对制程造成影响。

氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时,会发生化学反应,对制程造成影响。例如,芯片在生产过程中,原本大气中O2会和Si产生化学反应:O2+Si=SiO2,为原始的氧化成,如果管道内的氧含量过高,原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度,如此会严重影响接下来各阶段的制程。

颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。

检测标准:

水分检测

≤10ppb

氧分检测

≤10ppb

颗粒检测

0.1um≤5pcs,0.1um以上为0pcs

 

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     水分仪

     氧分仪

     颗粒仪

 


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