飞择科技新增气体管路工程测试业务模块

气体管路主要是通各种特种气体,需做测试项目有：保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。

1.保压测试

1.1测试目的

确保管路输送系统没有明显的泄漏，以便对管路系统进行氦测漏。

1.2测试工具   保压仪

2．氦质谱检漏测试

2.1测试目的

  利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。                               

2.2测试仪器   氦质谱检漏仪

3．水分、氧分、颗粒检测（三台仪器并联使用）

3.1测试目的和测试标准

水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。

氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。例如，芯片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应:O2+Si=SiO2,为原始的氧化成，如果管道内的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度，如此会严重影响接下来各阶段的制程。

颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。

检测标准：

3.2测试仪器

     水分仪

     氧分仪

     颗粒仪