◆杂质去除至<1 ppb
◆不需要加热器或电源
◆室温操作
◆316L SS(<10 RA EP)管材
◆工厂可再生,寿命长达10年
◆提高工艺设备性能
◆可选内置0.003μm滤波器(PF版本)
◆ 高流量至2500 SLPM
◆底花费
应用场合
◆半导体产业
◆高纯焊接
◆惰性气体净化
◆气瓶柜
◆气体分析仪器
◆研究与开发
不纯物去除
H2O, O2, CO, CO2, H21 (N2, CH4)2
H2O, O2, CO2, CO (N2) 3
H2O
H2O, CO2(H2, CO,
CH4)4
Ar,Ar/CH4
He,CH4
Ne,CF4
Kr,CCL4
Xe,SF6
N2,Freons
H2,As/H3
Ar/H2,PH3
N2/H2,NH3
SiH4,B2H6
Si2H6,H2Se
D.C.S.,GeH4
HBr
HCl
BCL3
BF3
CL2
HF
O2
Air
N20
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