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MEECO水分仪
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SOUTHLAND 氧分仪
日本液空氧分仪
ABB气体分析仪
ORTHODYNE 色谱仪
TSI颗粒仪
CAI气体分析仪
 
惰性气体和氢气常温净化装置 产品概况

◆杂质去除至<1 ppb             

◆不需要加热器或电源             

◆室温操作             

◆316L SS(<10 RA EP)管材             

◆工厂可再生,寿命长达10年            

◆提高工艺设备性能             

◆可选内置0.003μm滤波器(PF版本)

◆ 高流量至2500 SLPM             

◆底花费


惰性气体和氢气常温净化装置
产品概况

◆杂质去除至<1 ppb             

◆不需要加热器或电源             

◆室温操作             

◆316L SS(<10 RA EP)管材             

◆工厂可再生,寿命长达10年            

◆提高工艺设备性能             

◆可选内置0.003μm滤波器(PF版本)

◆ 高流量至2500 SLPM             

◆底花费


应用场合

◆半导体产业             

◆高纯焊接             

◆惰性气体净化             

◆气瓶柜             

◆气体分析仪器           

◆研究与开发


净化/过滤气体清单
惰性气体氢和氢化物腐蚀性气体氧气

不纯物去除

H2O, O2, CO, CO2, H21 (N2, CH4)2

不纯物去除

H2O, O2, CO2, CO (N2) 3

不纯物去除

H2O

不纯物去除

H2O, CO2(H2, CO,

CH4)4

ArAr/CH4

HeCH4

NeCF4

KrCCL4

XeSF6

N2Freons

H2As/H3

Ar/H2PH3

N2/H2NH3

SiH4B2H6

Si2H6H2Se

D.C.S.GeH4

HBr

HCl

BCL3

BF3

CL2

HF

O2

Air

N20






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