净化器/颗粒过滤器组合             

◆提高设备性能和工艺经济性             

◆从惰性气体、氮、氢、酸性气体、氧和氢化物等特殊气体中去除杂质             

◆0.003μm烧结不锈钢过滤介质（9日志还原）             

◆316L不锈钢（<10RA）或316L var（< 5RA）电抛光润湿表面处理             

◆可选HASTELLY C-22过滤介质/外壳或镍过滤介质