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MEECO水分仪
Nupure纯化器
SOUTHLAND 氧分仪
日本液空氧分仪
ABB气体分析仪
ORTHODYNE 色谱仪
TSI颗粒仪
CAI气体分析仪
 
净化器/颗粒过滤器组合 产品概况

净化器/颗粒过滤器组合             

◆提高设备性能和工艺经济性             

◆从惰性气体、氮、氢、酸性气体、氧和氢化物等特殊气体中去除杂质             

◆0.003μm烧结不锈钢过滤介质（9日志还原）             

◆316L不锈钢（<10RA）或316L var（< 5RA）电抛光润湿表面处理             

◆可选HASTELLY C-22过滤介质/外壳或镍过滤介质             
净化器/颗粒过滤器组合
产品概况

净化器/颗粒过滤器组合             

◆提高设备性能和工艺经济性             

◆从惰性气体、氮、氢、酸性气体、氧和氢化物等特殊气体中去除杂质             

◆0.003μm烧结不锈钢过滤介质（9日志还原）             

◆316L不锈钢（<10RA）或316L var（< 5RA）电抛光润湿表面处理             

◆可选HASTELLY C-22过滤介质/外壳或镍过滤介质             

应用场合：

半导体产业             

高纯度焊接             

气体分析仪器          

分析工业             

研究与开发             

气瓶灌装厂

净化/过滤气体清单
惰性气体氢和氢化物腐蚀性气体氧气

不纯物去除

H2O, O2, CO, CO2, H21 (N2, CH4)2

不纯物去除

H2O, O2, CO2, CO (N2) 3

不纯物去除

H2O

不纯物去除

H2O, CO2(H2, CO, CH4)4

Ar，Ar/CH4

He，CH4

Ne，CF4

Kr，CCL4

Xe，SF6

N2，Freons

H2，As/H3

Ar/H2，PH3

N2/H2，NH3

SiH4，B2H6

Si2H6，H2Se

D.C.S.，GeH4

HBr

HCl

BCL3

BF3

CL2

HF

O2

Air

N20
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