定性和灵敏度的新疆界，

检漏低达 10 -12 atm/css 

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的最佳真空结构，UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s，UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管。