●同时进行四通道颗粒量测，量测范围为 0.1μm 以上，0.2μm 以上， 0.3μm 以上，0.5μm以上

●流量： 2.83 L/min (0.1 CFM)

●直接量测大宗气体及一般惰性气体

●检测气体时，机台内部气体无死角残留之问题

●支持 N2 , CO₂ , Ar , He , CDA ,等气体

可以连续在线检测管道气微颗粒，稳定性、可靠性好！日常维护方便！